Präzisionsöfen arbeiten in der Regel mit horizontaler oder vertikaler Luftführung. Für einen staubfreien Innenraum wird am Luftauslass ein Hochtemperatur-Hochleistungsfilter (Klasse 1000 oder Klasse 100) ergänzt. Die Luft gelangt über die Rückluftöffnung zurück; ein Teil wird über den Abluftstutzen nach außen geführt, der Rest im Umluftkanal erneut erhitzt und strömt schließlich durch den Filter zurück in den Nutzraum.
Neben der Luftfilterung muss auch die Staubentstehung im Betrieb möglichst vermieden werden. Dafür sind hochwertige Materialien und Elektrokomponenten nötig; Heizrohre etwa dürfen bei hohen Temperaturen keine Partikel abgeben.
Hinweis: Außerhalb eines Reinraums sollte der Ofen möglichst nicht dauerhaft betrieben werden; die Luft enthält viele Partikel, was die Lebensdauer des Luftfilters bei längerem Betrieb stark verkürzt.
Gängige Spezifikationen der Reinraumöfen von Dongguan Xinzhou / Hubei Xinhai (zur Orientierung):
