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Stickstoffofen

QCO-2 Stickstoffofen

QCO-2 Stickstoffofen, Modell QCO-2. Die Konfiguration wird nach Prozess, Abmessungen und Linienanforderungen abgestimmt.

Highlights

Stickstoff-Schutzgas

Kammer, Steuerung und Beschickung nach dem Prozess vor Ort.

Sauerstoffarme Umgebung

Kammer, Steuerung und Beschickung nach dem Prozess vor Ort.

Präzisionssteuerung der Temperatur

Kammer, Steuerung und Beschickung nach dem Prozess vor Ort.

Überblick

Zusätzlich zur präzisen Temperaturregelung bieten die Stickstofföfen der Baureihe QCO eine sauerstoffarme, inerte Atmosphäre für Backprozesse mit Anforderungen an Sauerstoffgehalt und Reinheit.

Kenndaten

TemperaturbereichRaumtemperatur +15℃ bis 200℃ / 300℃
Max. Sondertemperatur700℃
Sauerstoffgehalt≤50ppm
Temperaturhomogenität±1℃ bei 100℃; ±2℃ bei 200℃; ±3℃ bei 300℃
StickstoffsteuerungDurchflussmesser, Druckregelung und Sauerstoffmessung
KühlsystemWasserkühlung

Prozess / Branche

  • Halbleiter
  • Elektronisches Element
  • Neue Energie

Dateien

Product manuals and documents are available in the download centre.

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