Plan de validación de la eliminación completa de burbujas con el horno de unión de chips Xinhai de presión positiva/negativa
Plan DOE simplificado para verificar el desespumado completo en hornos die-bond de presión ± de Xinhai
1. Objetivo principal
“ vacuum - - - ” = 0
2. Diseño simplificado de variables (centrado en los factores clave)
and “ ”
Tipo de variable
Nombre de la variable
Ajustes de muestreo
Objetivo (simular distintos riesgos iniciales de burbujas)
Pretratamiento
Residuos de fundente
① Sin limpiar (alto residuo); ② Limpio (bajo residuo)
Verificar la capacidad del equipo para eliminar burbujas por desgasificación del fundente
Pretratamiento
Humedad residual del sustrato
① sin precocción (humedad alta); ② 150 °C / 60 min (humedad baja)
Verificar la capacidad del equipo para eliminar burbujas por evaporación de la humedad
Propiedades del underfill
Fluidez del adhesivo
① Alta viscosidad (atrapa burbujas); ② Baja viscosidad (más fácil desgasificar)
Verificar la capacidad del equipo para eliminar burbujas atrapadas por capilaridad
3. Pasos del ensayo adaptados al flujo de proceso de Xinhai (lógica de validación principal)
Seguir estrictamente el flujo del usuario y aclarar la relación de cada paso con el desespumado:
vacuum 100Pa 10
Función: purga de oxígeno + retirada inicial de burbujas libres (superficie y poco profundas).
hot-air 100℃ Tg 1.5
Propósito: usar la fluidez del adhesivo para que las microburbujas suban / se agrupen (preparación para desgasificar).
vacuum + → 100℃ 30
Función: con vacío + control térmico, eliminar ~90% de burbujas (incl. fundente y humedad).
5kg / cm² → 150℃
Función: la alta presión comprime las microburbujas residuales y el curado fija finalmente el estado sin burbujas.
“ ”
“ + ”
Escaneo ultrasónico SAT (C-SAM) / rayos X: inspección de todas las muestras para confirmar que no hay vacíos internos (incluida la interfaz chip-sustrato y el interior de la capa de adhesivo).
Microscopía en corte (200-500x): de muestras SAT OK, tomar 3 cortes al azar y contar burbujas (requisito: número = 0).
5. Lógica de validación de las conclusiones
Si todas las combinaciones (3 tipos de variables x 2 muestreos = 8 ensayos, 6 piezas cada uno) pasan el flujo y cumplen:
Ninguna señal de burbuja en las imágenes SAT;
Observación en corte: número de burbujas = 0;
“ vacuum - - - ”
hot-air oven hot-air vacuum oven vacuum oven “ vacuum - hot-air - vacuum and - ”
